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チタンターゲットの概要:
特定の形状（円形、四角形、その他の複雑な形状など）と純チタンまたはチタン合金から特定のプロセスで製造された微細な表面を備えたチタンターゲット。
チタンターゲットは、その優れた性能から液晶、太陽電池、磁性材料などの分野で幅広く使用され、基礎材料として重要な役割を果たしています。たとえば、LCD の製造では、マグネトロン スパッタリングによってチタン ターゲットを製造し、純粋で均一なチタン膜を生成できるため、製品の性能が大幅に向上します。
試験方法：GDMS、LECO 化学成分、≦、単位[wt%]ppm(1ppm=0.0001%） | ||||||
プロジェクト | 3N | 3N5 | 4N | 4N5 | 5N | 5N5 |
完全な純度 | ≥99.9 | ≥99.95 | ≥99.99 | ≥99.995 | ≥99.999 | ≥99.9995 |
銀 | - | - | 1 | 0.5 | 0.01 | 0.01 |
アル | - | 50 | 10 | 3 | 2 | 2 |
として | - | - | 10 | 1 | 0.5 | 0.5 |
アウ | - | - | 1 | 0.5 | 0.25 | 0.25 |
B | - | 1 | - | 0.1 | 0.05 | 0.05 |
なれ | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
ビ | - | - | - | 0.1 | 0.05 | 0.05 |
Ca | - | - | 1 | 1 | 0.5 | 0.5 |
CD | - | - | - | 1 | 0.2 | 0.2 |
Cl | 600 | 10 | 5 | 1 | 0.1 | 0.1 |
コ | - | - | 5 | 1 | 0.05 | 0.05 |
Cr | - | 20 | 5 | 1 | 0.8 | 0.8 |
銅 | - | 50 | 5 | 2 | 1 | 1 |
F | - | - | - | 15 | 0.5 | 0.5 |
鉄 | 700 | 200 | 10 | 7 | 5 | 3 |
水銀 | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.1 |
K | - | 0.1 | 0.1 | 0.05 | 0.05 | 0.01 |
李 | - | 0.1 | 0.1 | 0.05 | 0.05 | 0.005 |
マグネシウム | - | 1 | 2 | 1 | 0.1 | 0.1 |
ん | - | 10 | 5 | 1 | 1 | 0.5 |
モー | - | - | 4 | 1 | 0.05 | 0.05 |
ナ | - | - | 0.2 | 0.03 | 0.03 | 0.03 |
ニ | 250 | 25 | 5 | 1 | 0.5 | 0.5 |
P | - | - | - | 1 | 0.25 | 0.01 |
鉛 | - | - | - | 1 | 0.1 | 0.01 |
PD | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.01 |
S | - | - | 10 | 10 | 5 | 3 |
Sb | - | - | 7 | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
シ | 200 | 50 | 5 | 2 | 1 | 1 |
SN | - | - | 5 | 1 | 0.5 | 0.01 |
テ | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
Th | - | 0.001 | 0.001 | 0.0005 | 0.0001 | 0.0001 |
U | - | 0.001 | 0.001 | 0.0005 | 0.0001 | 0.0001 |
V | - | - | - | 1 | 1 | 1 |
W | - | - | - | 1 | 0.1 | 0.1 |
亜鉛 | - | - | 5 | 1 | 0.1 | 0.1 |
ジル | - | - | 5 | 3 | 1 | 1 |
バ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Br | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
セ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Cs | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ガ | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
ゲ | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
Hf | - | - | - | 1 | 1 | 1 |
I | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
In | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ラ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ポイント | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
リ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Rh | - | - | - | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
ル | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Sc | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
セ | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
広報 | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Nd | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
SM | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
欧州連合 | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ゴッド | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
TB | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ディ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ホー | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
えー | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Tm | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
イブ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ルー | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
オス | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
イル | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ポイント | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
TL | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
C | 200 | 150 | 50 | 30 | 30 | 30 |
H | 50 | 10 | 5 | 10 | 6 | 6 |
N | 200 | 100 | 50 | 30 | 30 | 30 |
O | 800 | 700 | 450 | 300 | 200 | 100 |
チタンターゲットの概要:
特定の形状（円形、四角形、その他の複雑な形状など）と純チタンまたはチタン合金から特定のプロセスで製造された微細な表面を備えたチタンターゲット。
チタンターゲットは、その優れた性能から液晶、太陽電池、磁性材料などの分野で幅広く使用され、基礎材料として重要な役割を果たしています。たとえば、LCD の製造では、マグネトロン スパッタリングによってチタン ターゲットを製造し、純粋で均一なチタン膜を生成できるため、製品の性能が大幅に向上します。
試験方法：GDMS、LECO 化学成分、≦、単位[wt%]ppm(1ppm=0.0001%） | ||||||
プロジェクト | 3N | 3N5 | 4N | 4N5 | 5N | 5N5 |
完全な純度 | ≥99.9 | ≥99.95 | ≥99.99 | ≥99.995 | ≥99.999 | ≥99.9995 |
銀 | - | - | 1 | 0.5 | 0.01 | 0.01 |
アル | - | 50 | 10 | 3 | 2 | 2 |
として | - | - | 10 | 1 | 0.5 | 0.5 |
アウ | - | - | 1 | 0.5 | 0.25 | 0.25 |
B | - | 1 | - | 0.1 | 0.05 | 0.05 |
なれ | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
ビ | - | - | - | 0.1 | 0.05 | 0.05 |
Ca | - | - | 1 | 1 | 0.5 | 0.5 |
CD | - | - | - | 1 | 0.2 | 0.2 |
Cl | 600 | 10 | 5 | 1 | 0.1 | 0.1 |
コ | - | - | 5 | 1 | 0.05 | 0.05 |
Cr | - | 20 | 5 | 1 | 0.8 | 0.8 |
銅 | - | 50 | 5 | 2 | 1 | 1 |
F | - | - | - | 15 | 0.5 | 0.5 |
鉄 | 700 | 200 | 10 | 7 | 5 | 3 |
水銀 | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.1 |
K | - | 0.1 | 0.1 | 0.05 | 0.05 | 0.01 |
李 | - | 0.1 | 0.1 | 0.05 | 0.05 | 0.005 |
マグネシウム | - | 1 | 2 | 1 | 0.1 | 0.1 |
ん | - | 10 | 5 | 1 | 1 | 0.5 |
モー | - | - | 4 | 1 | 0.05 | 0.05 |
ナ | - | - | 0.2 | 0.03 | 0.03 | 0.03 |
ニ | 250 | 25 | 5 | 1 | 0.5 | 0.5 |
P | - | - | - | 1 | 0.25 | 0.01 |
鉛 | - | - | - | 1 | 0.1 | 0.01 |
PD | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.01 |
S | - | - | 10 | 10 | 5 | 3 |
Sb | - | - | 7 | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
シ | 200 | 50 | 5 | 2 | 1 | 1 |
SN | - | - | 5 | 1 | 0.5 | 0.01 |
テ | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
Th | - | 0.001 | 0.001 | 0.0005 | 0.0001 | 0.0001 |
U | - | 0.001 | 0.001 | 0.0005 | 0.0001 | 0.0001 |
V | - | - | - | 1 | 1 | 1 |
W | - | - | - | 1 | 0.1 | 0.1 |
亜鉛 | - | - | 5 | 1 | 0.1 | 0.1 |
ジル | - | - | 5 | 3 | 1 | 1 |
バ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Br | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
セ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Cs | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ガ | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
ゲ | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
Hf | - | - | - | 1 | 1 | 1 |
I | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
In | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ラ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ポイント | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
リ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Rh | - | - | - | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
ル | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Sc | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
セ | - | - | - | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
広報 | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Nd | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
SM | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
欧州連合 | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ゴッド | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
TB | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ディ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ホー | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
えー | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Tm | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
イブ | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ルー | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
オス | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
イル | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ポイント | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
TL | - | - | - | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
C | 200 | 150 | 50 | 30 | 30 | 30 |
H | 50 | 10 | 5 | 10 | 6 | 6 |
N | 200 | 100 | 50 | 30 | 30 | 30 |
O | 800 | 700 | 450 | 300 | 200 | 100 |
