CRNMC は高純度を提供します チタン 材質には 5N (99.999%)、6N (99.9999%)、7N (99.99999%) の 3 つのグレードがあります。独自の溶融塩電解精製プロセスと真空電子ビーム溶解(EBM)技術を組み合わせることで、超高純度チタンの大量生産を実現します。超高純度チタンを工業規模で生産できる世界でわずか 4 社のうちの 1 社として、当社の製品は半導体スパッタリング ターゲット、航空宇宙、医療機器、化学装置などの重要な用途に役立ちます。
| 純度グレード | 純度の価値 | 代表的な不純物含有量 | 主な用途 |
|---|---|---|---|
| 5N | 99.999% | 総不純物 < 10 ppm | 半導体スパッタリングターゲット、電子蒸着材料、超合金 |
| 6N | 99.9999% | 総不純物 < 1 ppm | 高度なチップ製造、精密光学コーティング、原子力コンポーネント |
| 7N | 99.99999% | 総不純物 < 0.1 ppm | フロンティア研究、量子デバイス、超高真空システム |
CRNMC は、 独自の次世代溶融塩電解精製プロセス 真空電子ビーム溶解 (EBM) と組み合わせて超高純度チタンを大規模に生産します。溶融塩電解段階では、電気化学的還元により、Fe、Ni、Cr などの遷移金属不純物を選択的に除去します。電子ビーム溶解ステージは高真空 (< 10-3 Pa) で動作し、O、N、H を含むガス状不純物をさらに除去し、不純物レベルが極めて低いチタンインゴットを生成します。
半導体製造において、チタンスパッタリングターゲットの純度は、チップ金属相互接続層の抵抗率と信頼性に直接影響します。 5N グレードのチタンターゲットは、28nm 以上のプロセスノードの要件を満たします。 6N グレードのチタンターゲットは 14nm 以下の高度なプロセスに適しており、薄膜堆積中に粒子汚染がウェーハあたり 10 個未満 (> 0.1μm) にとどまることを保証します。
| 製品形態 | 仕様範囲 | カスタマイズ可能なオプション |
|---|---|---|
| スパッタリングターゲット | 直径50~300mm | 純度グレード、寸法、接合方法 |
| 蒸着材料 | 顆粒1~5mm / ワイヤー0.5~3mm | 粒度分布、形状、包装 |
| 高純度インゴット | 直径100~200mm | 重量、結晶方位、試験報告書 |
| チタン合金ビレット | 顧客ごとの図面 | 合金組成、熱処理状態 |
CRNMC は、原材料の調達から完成品の納品まで、包括的な品質管理システムを維持しています。すべてのバッチには、74 種類の金属不純物とガス元素をカバーする ICP-MS の全元素分析レポートが付属しています。半導体グレードの製品の場合、追加の GDMS (グロー放電質量分析) 深さ分析レポートが提供され、不純物の検出感度が ppb レベルに達することが保証されます。
CRNMC は世界の超高純度チタン部門の中核サプライヤーとして、継続的に技術革新に投資し、多数の国家研究プロジェクトに参加または主導しています。当社は、顧客の要件に応じて寸法、重量、純度の仕様をカスタマイズし、原材料から完成部品までのフルチェーンのサービスを提供します。当社の専門チームは、製品設計、製造、アフターメンテナンスにわたる包括的な技術サポートを提供します。
寧波創潤新材料有限公司 (CRNMC) は 2012 年 6 月に設立され、中国全土に 5 つの生産拠点を持っています。当社は、高純度チタン、ニッケル、銅、ニオブ、コバルトなどの精製、溶解、鋳造、加工を得意とし、高純度電解結晶、インゴット、鍛造インゴット、粉末、板材などのエレクトロニクスグレード金属全般を提供しています。
当社のチームは、業界の専門家と、冶金学的な背景を持つ 40 人の専門家からなる起業家精神にあふれたスタッフで構成されており、全員がハイエンド材料の工業化に専念しています。
現在、同社は品質、納期厳守、顧客サービスの向上を保証するための超高純度材料産業チェーンのレイアウトを完成させています。
スタッフ全員が献身的かつ意欲的に取り組んでおり、お客様のご要望にお応えすることを楽しみにしています。