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チタンターゲットの用途と性能要件

アップデート:2022-09-22
概要: チタンターゲット 主に、集積回路、フラットパネルディスプレイなどのエレクトロニクスおよび情報産業で使用され、ガラス装飾コーティングやホイール装飾コーティングなどの住宅装飾および自動車産業の装飾コー...
チタンターゲット 主に、集積回路、フラットパネルディスプレイなどのエレクトロニクスおよび情報産業で使用され、ガラス装飾コーティングやホイール装飾コーティングなどの住宅装飾および自動車産業の装飾コーティングに使用されます。さまざまな業界での Ti ターゲットの要件も大きく異なります。たとえば、純度、微細構造、溶接性能、および寸法精度に関して、具体的な要件は次のとおりです。
1. 純度: 非集積回路の場合: 99.9%;集積回路の場合: 99.995%、99.99%。
2. 微細構造: 非集積回路の場合: 平均粒子サイズは 100μm 未満です。集積回路用: 平均粒径は 30μm 未満、超微粒子の平均粒径は 10μm 未満です。
3.溶接性能:非集積回路の場合:ろう付け、モノリシック。集積回路用: モノリシック、ろう付け、拡散溶接。
4.寸法精度:非集積回路の場合:0.1mm;非集積回路の場合: 0.01mm.